| Module | LV Type | CP | LV | Dates | Examination |
|---|---|---|---|---|---|
| Einführung in die Mikrosystemtechnik | Fach-/Modulprüfung | 6 | 363552 | ||
| Konstruktion von Mikrosystemen | Fach-/Modulprüfung | 6 | 366913 | ||
| Mikrotechnische Konstruktion | Fach-/Modulprüfung | 6 | 363675 | ||
| Vorlesung/Übung | 356688 | Do 16:15-18:15 Extern (×7) Do 16:15-18:15 HKW 2 (1132|303) (×8) | |||
| Ultrapräzisionstechnik I | Fach-/Modulprüfung | 6 | 366082 | ||
| Ultrapräzisionstechnik II | Fach-/Modulprüfung | 6 | 366092 | ||
| Vorlesung | 355800 | Mo 09:00-17:00 t.b.d. (×1) Di 09:00-17:00 t.b.d. (×1) Mi 09:00-17:00 t.b.d. (×1) Do 09:00-17:00 t.b.d. (×1) Fr 09:00-17:00 t.b.d. (×1) | |||
| Übung | 356676 |